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光伏工業(yè)廢氣主要含有有機(jī)廢氣、酸堿廢氣以及特殊廢氣,廢氣的產(chǎn)生主要來源于電池片制絨、硅切片清洗、切片階段、去PSG階段、硅切片廢線切割階段、燒結(jié)階段、電池片絲網(wǎng)印刷、化學(xué)氣相沉積工序使用的硅烷、氫氣和氨氣殘余時產(chǎn)生的工業(yè)廢氣。

因工廠的大小以及工業(yè)的性質(zhì),不同的企業(yè)每天的廢氣排放量是不一樣的,這也是導(dǎo)致最后選購的廢氣處理設(shè)備價格不同的因素之一,廢氣除臭的方法大致分為化學(xué)法、物理法、生物法三種,主要有吸收法、吸附法、中和法、燃燒法、氧化法以及生物法等來使惡臭氣體的本身的物質(zhì)結(jié)構(gòu)發(fā)生改變,達(dá)到消除惡臭的目的。

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半導(dǎo)體芯片加工廠的工業(yè)廢氣主要包含了硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣、氨氣、硫酸霧等的酸/堿廢氣以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷總烴等的有機(jī)廢氣,具有揮發(fā)性的VOCs以及酸堿廢氣主要來源于對芯片的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中產(chǎn)生的,這部分的廢氣濃度小且排放量大。

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活性炭吸附裝置的廢氣處理原理:設(shè)備由風(fēng)機(jī)、穿孔板、活性炭吸附層和活性炭吸附塔等組成,活性炭的表面具有很大的表面積,在同溫同壓下的情況下其吸附是不一樣的,其吸附能力主要跟活性炭吸附箱的形態(tài)有關(guān),該設(shè)備的廢氣凈化效率在95%以上。

對于在石油化工、制鞋廠、印刷廠、造紙廠、合成資料廠、橡膠塑料、印染皮革、涂料與噴漆、煉焦、制藥、發(fā)酵制藥、農(nóng)藥、畜牧、飼料加工、屠宰工廠、城市污水站、食品飲料廠異味等工業(yè)場所產(chǎn)生的工業(yè)廢氣是可以用于生物除臭設(shè)備的。
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工業(yè)含廢氣主要有顆粒態(tài)(Hgp)、氣態(tài)元素態(tài)(Hg)和氣態(tài)價(Hg種形態(tài)的方式存在,然而不同形態(tài)的在大氣中化學(xué)性質(zhì)差異是很大的,Hg化學(xué)性質(zhì)不穩(wěn)定,在煙氣中易被氧化,這部分所占比例較高且相對較容易被去除。
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