目前在各種集成電路的離子刻蝕加工工藝(溶劑、潤(rùn)滑劑、激光氣體、低溫制冷劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑)中會(huì)排放出含四氟化碳的工業(yè)廢氣，除了四氟化碳還有三氟化氮、六氟化硫等酸性廢氣，也是來(lái)源于電子產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)芯片用的刻蝕劑、清洗劑等領(lǐng)域。

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除了采用洗滌塔設(shè)備還可以選擇采用沸石轉(zhuǎn)輪或者是TO直燃式熱氧化焚燒爐，溫馨提示：半導(dǎo)體工業(yè)廢氣需先經(jīng)過(guò)預(yù)處理過(guò)濾裝置進(jìn)行大顆粒粉塵及雜質(zhì)的去除才能進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置或者是TO直燃式熱氧化焚燒爐進(jìn)行后續(xù)的處理。

工業(yè)廢氣的濃度會(huì)隨著有機(jī)粘合劑排放出來(lái)的廢氣濃度有所差異，主要來(lái)源于壓鑄業(yè)、五金業(yè)、鑄造業(yè)熔爐設(shè)備在金屬熔化過(guò)程中產(chǎn)生的燃燒柴油(重油)過(guò)程中產(chǎn)生的SO2、發(fā)電機(jī)工作時(shí)燃燒柴油(重油)過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣、NOX有害氣體以及金屬粉塵顆粒，目前市場(chǎng)上金屬鑄造廠用到的是一種高效的、新型的、精化率高的、安全可靠且余熱可回用的催化燃燒設(shè)備。

創(chuàng)清環(huán)保設(shè)備有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事工業(yè)粉塵治理及廢氣治理技術(shù)的工程公司，是集環(huán)保技術(shù)研發(fā)、工程設(shè)計(jì)、技術(shù)設(shè)計(jì)、工程總承包、售后、運(yùn)營(yíng)服務(wù)于一體的高新環(huán)保企業(yè)。

創(chuàng)清環(huán)保廢氣處理設(shè)備根據(jù)工業(yè)廢氣分為RCO催化燃燒設(shè)備、低溫等離子體設(shè)備、活性炭吸附箱、RTO蓄熱燃燒設(shè)備、活性炭吸附脫附裝置、VOCs催化氧化設(shè)備、UV光解/光氧設(shè)備、生物除臭、噴淋塔、靜電除塵、旋風(fēng)分離、布袋除塵、脫硫脫硝除塵設(shè)備、濕式除塵設(shè)備。

但是又可以根據(jù)設(shè)備的制作材質(zhì)分為不銹鋼噴淋塔、pp噴淋塔、玻璃鋼噴淋塔、PVC洗滌塔，不同材質(zhì)的噴淋塔廢氣處理設(shè)備根據(jù)所處理的廢氣性質(zhì)來(lái)確定用哪一種材質(zhì)和處理工藝，溫馨提示：酸性廢氣選擇堿液噴淋、堿性廢氣選擇硫酸溶液吸收、無(wú)酸堿的含油、塵廢氣選擇循環(huán)水溶液噴淋處理。

接下來(lái)說(shuō)一下廢氣處理設(shè)備的優(yōu)勢(shì)。

1.廢氣處理設(shè)備適用范圍廣;凈化效率高,尤其適用于其它方法難以處理的多組分廢氣，如化工,醫(yī)藥等行業(yè)，電子能量高，幾乎可以和所有的廢氣分子作用；運(yùn)行費(fèi)用低；反應(yīng)快，設(shè)備啟動(dòng)，停止十分迅速，隨用隨開(kāi)。

2、節(jié)能：使用壽命長(zhǎng),節(jié)能高效比傳統(tǒng)技術(shù)節(jié)能50%以上。

3、廢氣處理設(shè)備方便先進(jìn)：凈化單元采用分體抽屜式結(jié)構(gòu),易于安裝、維護(hù)、清洗特別方便，電源控制系統(tǒng)可自動(dòng)調(diào)節(jié)電場(chǎng)強(qiáng)度，使凈化設(shè)備在長(zhǎng)期運(yùn)行后仍保持較高的凈化率。

4、高效靈活：高效捕集不同粒徑的油霧粒子,凈化效率高,從根本上解決了復(fù)雜的廢氣組成不能逐一凈化的難題,凈化單元可以靈活組合，根據(jù)不同的凈化處理量及凈化率要求，單元數(shù)量可作調(diào)整。

5、安全穩(wěn)定：安全系統(tǒng)設(shè)計(jì)周密,檢修門(mén)被打開(kāi),高壓電源即自動(dòng)切斷；高壓電源精心設(shè)計(jì)成環(huán)氧樹(shù)脂嚴(yán)密封閉的單元體，使用安全可靠；采用了大型機(jī)所運(yùn)用的閃絡(luò)跟蹤技術(shù)，可配備遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，大大提高運(yùn)行運(yùn)行的安全系數(shù)，電源控制系統(tǒng)具有過(guò)流過(guò)壓自動(dòng)保護(hù)裝置，保證設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。

但是又可以根據(jù)設(shè)備的制作材質(zhì)分為不銹鋼噴淋塔、pp噴淋塔、玻璃鋼噴淋塔、PVC洗滌塔，不同材質(zhì)的噴淋塔廢氣處理設(shè)備根據(jù)所處理的廢氣性質(zhì)來(lái)確定用哪一種材質(zhì)和處理工藝，溫馨提示：酸性廢氣選擇堿液噴淋、堿性廢氣選擇硫酸溶液吸收、無(wú)酸堿的含油、塵廢氣選擇循環(huán)水溶液噴淋處理。

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水噴淋法+活性炭吸附法+催化燃燒法：，酸霧廢氣采用的凈化吸收塔設(shè)備耐腐蝕性能，不容易結(jié)垢，可以處理含有多種有機(jī)溶劑以及無(wú)機(jī)介質(zhì)的工業(yè)廢氣，也是可以處理大風(fēng)量的，其設(shè)備的凈化率高，使用壽命長(zhǎng)，現(xiàn)已替代了傳統(tǒng)的板式塔。