設備的除塵效率可達99%左右，其造價低于其他的電除塵器，運氣成本低，直接燃燒指的是把廢氣中的有害物質當做燃料直接燒掉，在燃燒工藝進行時燃燒所放出的熱量可以補償散向環境中的熱量，起到熱量的二次利用，直接燃燒法適用于燃燒時熱值高的、濃度高的有機廢氣。

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但是又可以根據設備的制作材質分為不銹鋼噴淋塔、pp噴淋塔、玻璃鋼噴淋塔、PVC洗滌塔，不同材質的噴淋塔廢氣處理設備根據所處理的廢氣性質來確定用哪一種材質和處理工藝，溫馨提示：酸性廢氣選擇堿液噴淋、堿性廢氣選擇硫酸溶液吸收、無酸堿的含油、塵廢氣選擇循環水溶液噴淋處理。

半導體芯片加工廠的工業廢氣主要包含了硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣、氨氣、硫酸霧等的酸/堿廢氣以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷總烴等的有機廢氣，具有揮發性的VOCs以及酸堿廢氣主要來源于對芯片的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中產生的，這部分的廢氣濃度小且排放量大。

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噴淋塔是一種可處理無機廢氣、不同價態氮氧化物氣體(NOx)、硫酸酸霧、氯化氫氣體、粉塵廢氣等的設備，利用工業廢氣與設備中的液體(化學藥劑)充分接觸發生化學反應，使設備中的廢氣濃度降低到一定數時達到的工業排放標準，但是市場上的噴淋塔是設置有分類的，本文介紹關于噴淋塔主要分為的兩大類廢氣處理裝置。

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因光伏工業產生的廢氣所含的成分復雜，因此是不能夠只采用一種廢氣處理工藝處理就完成的，光伏工業廢氣可采用氫氧化鈉和硫化鈉相結合的方法進行處理，除了采用氫氧化鈉和硫化鈉聯合處理的方法以外，還可以采用亞氯酸鈉和硫酸或者是其他的處理方法，具體還需根據廢氣的主要成分來確定處理方案。

活性炭吸附裝置：將集中收集的焊接廢氣在風機提供動力的情況下進入活性炭吸附裝置，當焊接時產生的各類氧化物顆粒的氣體和煙霧與活性炭固體表面未平衡和未飽和的分子引力或化學健力接觸時，活性炭吸附氣體分子并將其濃聚并保持在固體表面，最后污染物被吸附了，達標后的廢氣進入設備排塵系統，凈化氣體高空達標排放。

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水噴淋法+活性炭吸附法+催化燃燒法：，酸霧廢氣采用的凈化吸收塔設備耐腐蝕性能，不容易結垢，可以處理含有多種有機溶劑以及無機介質的工業廢氣，也是可以處理大風量的，其設備的凈化率高，使用壽命長，現已替代了傳統的板式塔。